1/8"VCR接続の半導体ガス用超小型メタルフィルター

高純度ガス用フィルターをさらに小型化

半導体ガス・高純度ガス用のカートリッジフィルターの超小型版が登場しました。

半導体ガス用のカートリッジフィルターとしては1/4"又は1/2”VCRモデルが一般的です。1/4"VCRで84mm、1/2"VCRで134mmが標準的な長さです。これまでは1/4”以下の配管サイズで使用する場合には変換アダプタを使用して来ましたが、アダプタの分が長くなる、漏れの発生する箇所が増える等、使いにくい要素が多くありました。

そこで弊社ではmott社との協力により、1/8"VCRを直接接続できるオールメタルフィルターを製作し販売を開始致しました。全長は45mmとこれまでの約半分の長さに納めることが出来ます。