12  | - ライン用小型モデル
- 各種IGSにも対応
- タイドステム、スプリングレスモデル
- ハイフローモデルもあり
| | - -0.067 ~ 0.1
- 0.01 ~ 0.21
- 0.02 ~ 0.41
- 0.02 ~ 0.69
| | | |
15  | - バルク用大流量モデル
- スプリングロードタイプに加えてドムロードタイプ、べローズタイプもあり
| | | | | |
22-2200  | - BAグレードモデル
- 標準流量タイプ
| | - 0.01 ~ 0.21
- 0.01 ~ 0.41
- 0.01 ~ 0.69
- 0.01 ~ 1.03
| | | |
22-5400  | - BAグレードモデル
- 大流量タイプ
| | - 0.03 ~ 0.21
- 0.03 ~ 0.41
- 0.03 ~ 0.69
- 0.03 ~ 1.03
| | | |
23  | - 高純度用大流量モデル
- タイドステム、スプリングレスモデル
| | - 0.03 ~ 0.21
- 0.03 ~ 0.41
- 0.03 ~ 0.69
| | | |
449-254  | - BSGS用モデル
- ハステロイトリム標準仕様
| | | | | |
64-2600  | - 汎用モデル
- フリーポペットタイプ
- ハステロイトリムモデルもあり
- ガスキャビネット向けにも
| | - 0.01 ~ 0.21
- 0.01 ~ 0.41
- 0.01 ~ 0.69
- 0.01 ~ 1.72
| - -40 ~ 60
- -40 ~ 71
- -40 ~ 177
| | |
64-2800  | - タイドステムタイプ
- ハステロイトリムモデルもあり
- ガスキャビネット向けにも
| | - 0.01 ~ 0.21
- 0.01 ~ 0.41
- 0.01 ~ 0.69
- 0.01 ~ 1.03
| | | |
64-3200  | - BSGS用モデル
- タイドステムタイプ
- ハステロイトリムモデルもあり
| | - 0.03 ~ 0.21
- 0.03 ~ 0.41
- 0.03 ~ 0.69
- 0.03 ~ 1.03
- 0.03 ~ 1.37
| - -40 ~ 60
- -40 ~ 71
- -40 ~ 177
| | |
64-3400  | - 二段式減圧弁
- フリーポペット及びタイドステムタイプ
- ハステロイトリムモデルもあり
| | - 0.01 ~ 0.21
- 0.01 ~ 0.41
- 0.01 ~ 0.69
- 0.01 ~ 1.03
| | | |
64-3600  | - 高感度減圧弁
- フリーポペット及びタイドステムタイプ
- ハステロイトリムモデルもあり
| | - 0.01 ~ 0.21
- 0.01 ~ 0.41
- 0.01 ~ 0.69
- 0.01 ~ 1.03
| - -40 ~ 60
- -40 ~ 71
- -40 ~ 177
| | |
64-5000  | - 絶対圧減圧弁
- 陽圧の入口圧を負圧域から最大0.69MPaGの圧力に減圧可能
| | - -0.094 ~ 0.1
- -0.094 ~ 0.21
- -0.094 ~ 0.41
- -0.094 ~ 0.69
| | | |
64-5400  | - BSGS用大流量モデル
- フリーポペットタイプ
| | - 0 ~ 0.21
- 0 ~ 0.41
- 0 ~ 0.69
- 0 ~ 1.03
| | | |
74-2400  | - 超高純度用減圧弁
- タイドステム、スプリングレスモデル
- パーティクルの発生源を極力排除し
- 内部容積も2.9ccに抑えたタイプ
| | - 0.01 ~ 0.21
- 0.01 ~ 0.41
- 0.01 ~ 0.69
| | | |
74-3000  | - 超高純度用減圧弁
- 大流量モデル
- フリーポペットタイプ
- 真空レンジもあり
| | - -0.094 ~ 0.1
- 0.02 ~ 0.21
- 0.02 ~ 0.41
- 0.03 ~ 0.69
- 0.03 ~ 1.03
| - -40 ~ 60
- -40 ~ 71
- -40 ~ 149
| | |
74-3800  | - 超高純度用減圧弁
- 大流量モデル
- タイドステムタイプ
- ガスキャビネット向けにも
| | - 0.02 ~ 0.21
- 0.02 ~ 0.41
- 0.03 ~ 0.69
- 0.03 ~ 1.03
| - -40 ~ 60
- -40 ~ 71
- -40 ~ 177
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