安全は適正な対策を行って初めて実現！微差圧モニター ECHOLINE®
安全管理意識の高まりで欧米大手装置メーカー、デバイスメーカーで多く本格採用中！ 貴社の安全管理に是非ご検討ください。
紹介動画
特徴
- 他社では取得ができない厳しいUL991、SEMI-S2を取得
- マイクロコントローラーを使用せず、暴走や潜在的なバグによる誤動作をなくした構造
- 一体型でコンパクト
- 様々なご要求に対応（耐食性タイプ等）
- 安全性、使いやすさの為の各種オプション設定が可能
仕様および機能
- プロセス状態表示および警報表示
- 警報状態保持や警報出力タイムディレイ機能
- メンテナンスモード
- アナログ警報出力機能
- 自己診断機能
- その他オプション各種
安全規格
- CE、SEMI-S2、UL508、UL991
代表的な使用例
- 設備の排気状態管理（導入例①）
- 室内外圧力管理（導入例②）
- ガス漏れ時などの圧力による防爆保護管理（導入例③）
- C/C, R/Bの内外圧管理（導入例④）
- チャンバーや圧力制御機器の管理（導入例⑤）
- フィルターの目詰まりや風量異常管理（導入例⑥）
