気体の流量計算 下記のフォームにご記入の上、計算ボタンを押してください ご注意 本ツールの結果はあくまでも理論値です。特に圧力調整器においては低圧および低差圧時に理論値とかけ離れる場合がございます。圧力調整器を選定の際は流量特性図も参照いただくようお願いいたします。 一次側圧力MPaGMPaA 二次側圧力MPaGMPaA 流体名 ガス比重値を直接入力 空気 NH3 アンモニア Ar アルゴン AsH3 アルシン CO2 二酸化炭素 He ヘリウム H2 水素 Hcl 塩化水素 N2 窒素 O2 酸素 SiH4 モノシラン ガス比重 Cv値 NL/min NL/h Nm3/min Nm3/h SCFM